\documentclass{article}
\usepackage{booktabs}
\usepackage{xepersian}
\settextfont{XB Zar}
\setlatintextfont{Times New Roman}
\setdigitfont[Scale=1.1]{Yas}

\begin{document}
\begin{tabular}{@{}llllll@{}}
\toprule 
\multicolumn{5}{c}{ماهــیـت-ورودی}& DMU\\
\cmidrule(l){1-5}
\multicolumn{2}{l}{مدل3} &\multicolumn{2}{l}{مدل2}&\multicolumn{1}{l}{مدل1}& \\
\cmidrule(l){1-2}\cmidrule(l){3-4}
 {جزئیات جواب} & \text{مقدار ابر-کارایی} &\text{جزئیات جواب} & \text{مقدار ابر-کارایی}& & \\
\midrule
  $\beta^*=0.060968$   &   $2.064927$  &  $\beta^*=0.060968$  &  2.064927  &  \text{نشدنی} &1            \\
  $\beta^*=0.060261$   &  3.70392     &  $\beta^*=0.060261$   &   3.70392  &  \text{نشدنی}   &2  \\
                                    &  1.547346  &  $\beta^*=0.060968$   &    1.547346  &  \text{نشدنی}    &3 \\
                           
\bottomrule                                 
\end{tabular}

\end{document}